低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 17次 | 上传用户：rays

【摘要】

：

研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律,从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响,并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统,采用半导体冷阱实现低温环境,利用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,通过底座的冲击激励,使微悬臂梁处于自由衰减振动状态,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,从而获得微

【作者】

：

佘东生王晓东张习文王立鼎

【机构】

：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2010年10期

【关键词】

：

微机电系统动态特性低温微悬臂梁冲击激励 Micro-electro-mechanical System（MEMS） dynamic characteri

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