用于ICF实验的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶

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以掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备为主,介绍通过激光干涉法结合图形转移工艺获得具有正弦起伏图形的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的工艺,对表面调制起伏图形的精确转移进行了研究,以SEM和台阶仪监控图形转移过程,控制耦合在调制图形上的表面粗糙度。
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