铁电存储器制备中关键工艺的改进

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传统铁电存储器制备工艺中 ,存在着 Pt/ Ti下电极刻蚀难、制作的铁电薄膜形貌不好和上电极容易起壳等问题。文章对铁电存储器制备中的一些关键工艺进行改进 ,降低了工艺复杂性 ,解决了上述问题。 In the traditional ferroelectric memory manufacturing process, there are some problems such as poor electrode etching of Pt / Ti, poor morphology of the fabricated ferroelectric thin film and easy-up of the upper electrode. The article improves some key processes in the preparation of ferroelectric memory, reduces the complexity of the process and solves the above problems.
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