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应用调谐的单探针对氩气射频辉光放电等离子体进行诊断,得到了不遵循双Maxwell分布的电子能量分布函数.经过分析后,指出等离子体振荡是产生这种结构的原因.并且观测到了氩气射频辉光放电等离子体的电子平均能量和浓度随放电气压下降而单调上升的变化.
氩等离子体的电子能量分布函数分析
【摘 要】
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应用调谐的单探针对氩气射频辉光放电等离子体进行诊断,得到了不遵循双Maxwell分布的电子能量分布函数.经过分析后,指出等离子体振荡是产生这种结构的原因.并且观测到了氩气
【机 构】
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汕头大学物理系
【出 处】
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汕头大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2004年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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