【摘 要】
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采用等离子溅射镀膜技术在Ti6Al4V表面制备ZrO2涂层来提高其耐磨性。运用SEM和XRD检测ZrO2涂层的表面形貌以及组织成分。利用显微硬度计和摩擦磨损仪评价涂层的力学性能和耐磨性能，分析ZrO2涂层的摩擦磨损行为。结果表明：当溅射功率为150 W时，ZrO2涂层厚度最大，约为6.4μm，涂层与基体结合良好，厚度均匀、组织致密、无明显裂纹、孔洞等缺陷，涂层的主要物相为单斜相ZrO2（m-ZrO
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采用等离子溅射镀膜技术在Ti6Al4V表面制备ZrO2涂层来提高其耐磨性。运用SEM和XRD检测ZrO2涂层的表面形貌以及组织成分。利用显微硬度计和摩擦磨损仪评价涂层的力学性能和耐磨性能，分析ZrO2涂层的摩擦磨损行为。结果表明：当溅射功率为150 W时，ZrO2涂层厚度最大，约为6.4μm，涂层与基体结合良好，厚度均匀、组织致密、无明显裂纹、孔洞等缺陷，涂层的主要物相为单斜相ZrO2（m-ZrO2）。ZrO2涂层表面的显微硬度为430.0 HV，为基体的1.16倍。ZrO2涂层的摩擦系数较基体降低幅度不大，但是磨损体积、比磨损率均有明显下降，这说明耐磨性得到很大提高。ZrO2涂层的磨损机制主要为磨粒磨损。
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