半导体激光阵列光谱合束技术中变换透镜的研究

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利用光栅-外腔的方法对半导体激光阵列(LDA)进行光谱合束时常采用平凸或双凸柱透镜作为变换透镜,然而它会导致外腔的反馈效率低下,经研究发现LDA轴上发光单元的反馈效率为80.5%,对于边缘发光单元甚至降到了49.7%。针对该问题提出了采用双分离柱透镜作为变换透镜,从而可以提高外腔的反馈效率。将传统LDA光谱合束光路展开,并利用Zemax画出它的等效光路,以此来求出平凸变换透镜LDA每个发光单元的反馈效率;根据像差理论分析了平凸变换透镜的成像特点,发现平凸变换透镜的球差和慧差较大,需要对其进行矫正;根据初级像差理论,利用PW法设计了双分离变换透镜,并利用Zemax进行了优化。结果发现,优化后双分离变换透镜可以使10mm宽LDA发光单元的反馈效率达到94.2%以上。研究结果表明使用双分离变换透镜法可提高光谱合束效率。 The use of grating - the outer cavity of the semiconductor laser array (LDA) for the spectral Hardening often use a plano-convex or biconvex lens as a conversion lens, however, it will lead to low external cavity feedback efficiency, the study found that LDA axis light-emitting unit The feedback efficiency is 80.5%, even for edge-emitting cells down to 49.7%. In order to solve this problem, a double-separation cylindrical lens is proposed as a conversion lens, so that the feedback efficiency of the external cavity can be improved. The traditional LDA spectrum combined beam is unfolded and the equivalent optical path is drawn by Zemax, so as to obtain the feedback efficiency of each LDA of plano-convex lens. Based on the theory of aberration, the imaging of plano-convex lens is analyzed. It is found that the spherical aberration and the coma aberration of the plano-convex lens are large and need to be corrected. Based on the primary aberration theory, a double-separation translating lens is designed by PW method and optimized with Zemax. The results show that the optimized double-separation lens can achieve a feedback efficiency of 94.2% for a 10mm wide LDA cell. The results show that the use of double separation transformation lens method can improve the efficiency of spectral combination.
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