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制备了掺杂质量数为1%,2%,3%和4%Al2O3的ZnO靶材.用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜试样.用X射线衍射和扫描电镜分析了薄膜的物相及表面形貌.用四探针法测试了薄膜的电性能.用紫外可见光谱仪测试了试样的可见光透过率.结果表明:溅射气氛中氧气的存在降低薄膜的电导率,对薄膜试样的可见光透过率影响不大;用含3% Al2O3的ZnO靶材制备的薄膜的电导率最高.讨论了氧气分压和Al2O3的掺杂量对ZAO薄膜的结构和性能的影响.