Si／Ge_xSi_（1－x）结构中的高分辨率反应离子刻蚀及损伤

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vbwu

【摘要】

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Ｓｉ／Ｇｅ＿ｘＳｉ＿（１－ｘ）结构中的高分辨率反应离子刻蚀及损伤＝Ｈｉｇｈ－ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｒｅａｃｔｉｖｅｉｏｎｅｔｃｈｉｎｇａｎｄｄａｍａｇｅｅｆｆｅｃｔｓｉｎｔｈｅＳｉ／Ｇｅ＿ｘＳｉ＿（１－ｘ）ｓｙｓｔｅｍ［刊，英］／Ｃｈｅ－ｕｎｇ．Ｒ．…... High Resolution Reactive Ion Etching and Damage in Si / Ge_xSi_ (1-x) Structures = High-resolution reactive ion str

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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1995年01期

【关键词】

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Ge_xSi 反应离子刻蚀高分辨率衬底温度加工工艺

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