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等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术，本文报道了等离子辅助源的性能指标，用这个源制造的ＴｉＯ２膜工艺与成膜质量，以及用等离子辅助生产减反膜的工艺．
等离子辅助成膜技术
【摘 要】
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等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量制造光学膜的技术，本文报道了等离子辅助源的性能指标，用这个源制造的ＴｉＯ２膜工艺与成膜质量，以及用等离子辅助生产减反膜的工艺．
【机 构】
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北京理工大学,中国科学院空间中心
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目
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