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采用固相外延的方法在Ｓｉ（１００）衬底上生长了Ｃ组分为０．５ａｔＴ的Ｓｉ１－ｙＣｙ合金，并对合金的质量及特性进行了测试分析。
Si1—yCy合金的固相外延生长及其特性
【摘 要】
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采用固相外延的方法在Ｓｉ（１００）衬底上生长了Ｃ组分为０．５ａｔＴ的Ｓｉ１－ｙＣｙ合金，并对合金的质量及特性进行了测试分析。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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发光学报
【发表日期】
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1999年1期
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