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本文阐述了PSD技术现状以及基于PSD的光刻机调焦调平系统的原理。建立了该系统的硬件控制模型，最后总结了PSD用在光刻机调焦调平系统中的问题以及解决方法。
基于PSD的光刻机调焦调平系统
【摘 要】
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本文阐述了PSD技术现状以及基于PSD的光刻机调焦调平系统的原理。建立了该系统的硬件控制模型，最后总结了PSD用在光刻机调焦调平系统中的问题以及解决方法。
【机 构】
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上海微电子装备有限公司
【出 处】
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科技信息
【发表日期】
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2013年5期
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