液相外延法制备β-BBO薄膜

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采用液相外延法在掺Sr^2+的Q—BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了制备条件对薄膜质量的影响.结果表明:当生长温度为810℃时,转速为300r/min生长的外延膜具有较高的结晶质量,且随着生长时间的延长,外延膜的结晶质量有所提高.β—BBO薄膜呈C轴高度择优取向,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM仅为676.6”,表明β-BBO薄膜较好的结晶质量;在不具备相位匹配的条件下,β—BBO外延膜也能够实现二次谐波输出.
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