脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜

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【摘要】

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用脉冲激光沉积制备了纳米级Pt/Si异质层,对脉冲激光退火形成超薄PtSi薄膜进行了研究.对于Pt、Si互扩散反应形成Pt2Si和PtSi的过程利用XPS进行了测试分析,通过XPS和AFM等分析

【作者】

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李美成杨建平王菁陈学康赵连城

【机构】

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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,兰州物理研究所

【出处】

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功能材料

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

脉冲激光沉积激光退火纳米薄膜 Pt/Si薄膜 pulsed laser deposition (PLD) laser annealing nanomete

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用脉冲激光沉积制备了纳米级Pt/Si异质层,对脉冲激光退火形成超薄PtSi薄膜进行了研究.对于Pt、Si互扩散反应形成Pt2Si和PtSi的过程利用XPS进行了测试分析,通过XPS和AFM等分析测试手段对不同参数激光退火形成的PtSi薄膜的结构特性进行观测.我们获得了均匀的、超薄连续的PtSi层且具有平滑的PtSi/Si界面.

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