质子注入掺镱磷酸盐玻璃平面光波导的近红外特性

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【摘要】

：

在能量为(0.5+0.55)MeV和剂量为(1.0+2.0)×10^16 ions/cm^2的条件下,通过氢离子注入制备了掺Yb^3+磷酸盐玻璃波导,并研究了该波导在近红外波段的特性.棱镜耦合法测量的

【作者】

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吕婧妍郭海涛徐君刘春晓

【机构】

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南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安航空学院电子工程学院

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2020年4期

【关键词】

：

波导近红外波段离子注入掺镱磷酸盐玻璃折射率分布 WaveguideNear-infrared bandIon implantationYb 3+-dop

【基金项目】

：

The National Natural Science Foundation of China(No.11405041),the Nanjing University of Posts and Telecommunications Scientific Foundation(No.NY219101),the Key Research and Development Program Project

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在能量为(0.5+0.55)MeV和剂量为(1.0+2.0)×10^16 ions/cm^2的条件下,通过氢离子注入制备了掺Yb^3+磷酸盐玻璃波导,并研究了该波导在近红外波段的特性.棱镜耦合法测量的离子注入波导的导模的有效折射率与反射计算法计算的有效折射率基本吻合.通过模拟辐照引起的空位分布,探讨了离子注入平面波导的形成理论.利用FD-BPM对波导中的传播模式进行了模拟,结果表明高能量的氢离子注入掺Yb 3+磷酸盐玻璃能够制备出近红外波导结构.

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