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以正硅酸乙酯（TEOS）为有机醇盐前驱体，采用溶胶－凝胶技术，通过控制制备条件，结合三甲基氯硅烷（TMCS）对SiO2胶粒表面的修饰过程，制备出折射率可调的疏水型SiO2薄膜。对薄膜采用了不同的后处理方式，研究了氨和水蒸气混全气体热处理技术对薄膜疏水性能的影响。采用椭偏仪、FTIR和接触角测试仪对薄膜的折射率、红外特性、接触角等的测试研究表明：疏水型SiO2薄膜的折射率可在1．35－1．20之间连续可调，与传统热处理相比，混合气氛热处理使薄膜的折射率略有增加，在所研究的范围内折射率平均增加0．02左右；S