高压脉冲电晕放电氮等离子体的分子束质谱诊断研究

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克服强电磁场干扰 ,以具有三级差分抽气系统的分子束质谱为手段 ,对线板式高压脉冲电晕放电N2 等离子体阴极板区的正离子成分进行了首次诊断研究。发现在各种实验条件下 ,N+ 离子流强度均显著大于N+ 2 ;N+ 及N+ 2 离子流强度随放电电压、放电频率升高而增大 ,随放电室气压变化则存在一极值。对N2 等离子体中所包含的主要基元物理 化学过程进行了讨论 To overcome the strong electromagnetic field interference, molecular beam mass spectrometry with a three-stage differential pumping system was used as the first diagnostic study of the positive ion components in the N2 plasma cathode plate area of ​​the high-voltage pulsed corona discharge. It was found that the intensity of N + ion flow was significantly higher than that of N + 2 under various experimental conditions. The ion current intensity of N + and N + 2 increased with the increase of discharge voltage and discharge frequency. There was an extreme value with the change of pressure in discharge chamber. The physicochemical processes of the main motifs contained in N2 plasma are discussed
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