【摘 要】
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本文介绍了热解石墨涂层的制备,工艺参数的选择,结合热解石墨的性能和若干单位的实践,阐明了对热解石墨涂层做外延基座材料的初浅认识,并对外延中出现的几个问题进行商榷。图
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本文介绍了热解石墨涂层的制备,工艺参数的选择,结合热解石墨的性能和若干单位的实践,阐明了对热解石墨涂层做外延基座材料的初浅认识,并对外延中出现的几个问题进行商榷。图4。表1。参考文献11。
In this paper, the preparation of pyrolytic graphite coatings and the selection of process parameters are introduced. Based on the properties of pyrolytic graphite and the practice of several units, the initial understanding of the pyrolytic graphite coating as epitaxial base material is expounded, Several issues that arise are debatable. Figure 4. Table 1. References 11.
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