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本文研究了大型构件尺寸微小变化的高精度激光干涉测量方法。指出在长干涉光路中 ,空程误差是一个主要误差因素 ,同时分析了空程误差与环境状况的关系。本文研究中设计了一种真空管 ,有效地克服了空程误差的影响 ,在通常的环境条件下 ,对于大型构件的尺寸微小变化的测量 ,获得了高于 3× 10 -8的相对精度。