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采用微加工技术,将硅薄片镀上金属膜,制成微反射镜,结合微驱动装置,实现激光偏转扫描....
本文设计了一种用于激光扫描的微反射镜，使用微结构对浙江光束实现高频率、高效率、大角度偏转。通过理论计算，该微反射镜可以８００Ｈｚ频率、......
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