【摘 要】
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为满足快速测量火工品发火温度的需要，研制了一种以铂铑（PtRh）作为偶极材料的快速响应S型铂铑薄膜热电偶。使用丝网印刷技术，通过光刻制成网版，制备铂-铂铑（Pt-PtRh）偶结点及蛇形微换能元，再经过高温马弗炉烧结工艺完成薄膜热电偶的制备得到样品，最后测试了样品的静态特性和动态特性。实验结果表明，研制的薄膜热电偶的静态性能与标准S型热电偶的热电动势曲线具有较高的吻合度，且薄膜热电偶在低温段（50～
【机 构】
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中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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装备预研基金资助项目（61406190504）；
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为满足快速测量火工品发火温度的需要，研制了一种以铂铑（PtRh）作为偶极材料的快速响应S型铂铑薄膜热电偶。使用丝网印刷技术，通过光刻制成网版，制备铂-铂铑（Pt-PtRh）偶结点及蛇形微换能元，再经过高温马弗炉烧结工艺完成薄膜热电偶的制备得到样品，最后测试了样品的静态特性和动态特性。实验结果表明，研制的薄膜热电偶的静态性能与标准S型热电偶的热电动势曲线具有较高的吻合度，且薄膜热电偶在低温段（50～600℃）的精度约为1.24%,在高温段（600～1 500℃）约为1.05%。时间常数为530μs。研制的新型铂-铂铑薄膜热电偶具有快速响应、高精度及耐高温等特点，可满足快速测量火工品发火温度的需求。
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