【摘 要】
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针对目前温湿度测量过程中电量传感器长期稳定性和互换性差的不足 ,以光纤光栅为基础 ,以改性PI薄膜为湿敏涂层 ,研制出了一种新型非电量温湿度传感器 详细阐述了其测量原理
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,深圳大学光电子学研究所,第二炮兵工程学院
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针对目前温湿度测量过程中电量传感器长期稳定性和互换性差的不足 ,以光纤光栅为基础 ,以改性PI薄膜为湿敏涂层 ,研制出了一种新型非电量温湿度传感器 详细阐述了其测量原理、制作工艺及其主要参量的优化确定 ,对其测量范围、测量精度、湿滞特性等主要特征参量进行了试验测定 测试结果表明 :该传感器可在 2 0～ 80℃、10 %～ 90 %测量范围内实现精度为± 0 .2℃和± 5 %的实时测量 ,且具有响应时间短 (≤ 15s)和长期稳定性好等优点
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