【摘 要】
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利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌（ZnO∶Ti）透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距
【基金项目】
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山东理工大学功能材料创新团队支持计划项目（2006）
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利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌（ZnO∶Ti）透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射（XRD）表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。在靶衬间距为4.6 cm时,实验获得的ZnO∶Ti薄膜电阻率具有最小值4.18×10-4Ω.cm。实验制备的ZnO∶Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过92%。ZnO∶Ti薄膜可
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