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介绍一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法,以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤.详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线,用所制作的微激励器对上述推证结果进行了实验验证.
基于立体成型法的微激励器静态性分析
【摘 要】
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介绍一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法,以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤.详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡
【机 构】
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通广—北电有限公司
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2001年6期
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