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为了减小压电陶瓷致动器迟滞非线性固有特征对微定位系统的影响,文章通过实验测试得到了压电驱动器在不同条件下具有的迟滞曲线,并进一步分析了该迟滞现象所呈现出来的特征和规律;根据以上的分析和测量获得的数据,建立了基于多项式拟合算法的神经网络迟滞模型,并能精确地反映该迟滞现象。在这种模型的基础上,采用前馈控制和神经元自适应PID算法,对压电致动器迟滞误差进行了补偿;系统仿真结果表明,位移跟踪的平均相对误差降低至1.34%,实现了精确控制压电致动器的输出位移,从而降低了压电陶瓷迟滞现象对系统定位精确度的影响,