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通过结合3D全息光刻和2D光刻技术，美国伊利诺伊大学厄巴纳一香槟分校的科学家日前开发出一种适用于大规模集成电路的高性能3D微电池。研究人员称，这种微型高能电池具有极其优异的性能和可扩展性，为人们提供了无限的想象空间，有望让很多设备小型化应用成为现实。相关论文发表在美国《国家科学院学报》上。
适用集成电路的片上微电池问世
【摘 要】
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通过结合3D全息光刻和2D光刻技术，美国伊利诺伊大学厄巴纳一香槟分校的科学家日前开发出一种适用于大规模集成电路的高性能3D微电池。研究人员称，这种微型高能电池具有极其优异
【出 处】
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功能材料信息
【发表日期】
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2015年3期
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