【摘 要】
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基于电感耦合等离子体（ICP）放电原理，设计了一种射频感性耦合等离子体装置，讲解了构成该等离子体装置的各个系统功能，并以此装置为依托研究了晶圆表面光刻胶扫胶技术，分析时间、馈入功率、加热温度、工艺气体流量对AZ4620光刻胶扫胶工艺的影响。试验结果表明，增大馈入功率与加热温度均可不同程度的提高扫胶速率，过大的工艺气体供给量甚至会降低扫胶速率，时间的长短不会影响扫胶速率的快慢，与扫胶厚度基本呈线性关
【基金项目】
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中国电子科技集团公司发展资金项目； 太原市“揭榜挂帅”项目；
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基于电感耦合等离子体（ICP）放电原理，设计了一种射频感性耦合等离子体装置，讲解了构成该等离子体装置的各个系统功能，并以此装置为依托研究了晶圆表面光刻胶扫胶技术，分析时间、馈入功率、加热温度、工艺气体流量对AZ4620光刻胶扫胶工艺的影响。试验结果表明，增大馈入功率与加热温度均可不同程度的提高扫胶速率，过大的工艺气体供给量甚至会降低扫胶速率，时间的长短不会影响扫胶速率的快慢，与扫胶厚度基本呈线性关系。扫胶后的片内均匀性均在10%以内，满足半导体芯片制备的相关工艺要求，研究结果对半导体行业晶圆光刻胶的去除提供了相应的参考依据。
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