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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量，讨论了微现象测量中有关的技术；激励功率控制，超声频谐振频率的测量，频率特性的测定，品质因数的确定，克服电热效应的不良影响，同频干扰的抑制等。
硅谐振微传感器中微现象测量技术
【摘 要】
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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量，讨论了微现象测量中有关的技术；激励功率控制，超声频谐振频率的测量，频率特性的测定，品质因数的确定，克服电热效应的不良影响，同频干扰的抑制等
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院
【出 处】
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强度与环境
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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航空基础科学基金 (98I5 10 19)资助项目
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