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在超精密抛光加工过程中，抛光粉参量对抛光质量的影响很大。试验研究抛光粉主要参量随抛光时间的变化规律，得到了适合超精密抛光的抛光粉参量的主要特点。根据抛光原理分析了抛光粉的主要参量对抛光表面的作用机理，提出一种选择适于抛光的合适参量抛光粉的方法。结果表明，利用该方法选择的抛光粉可稳定地加工出高质量的超光滑表面。