La1—xSrxCo1—yFeyO3系厚膜酒敏材料的研究

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【摘要】

：

<正>为改善ZnO系、SnO2系和Fe2O系等酒敏材料的气敏选择性和稳定性,人们开始研制ABO3型酒敏材料,因为它们能表现出良好的稳定性和选择性.敏感元件厚膜化工艺简单,操作易于控

【作者】

：

姚奎武明堂

【机构】

：

西安交通大学电子系,西安交通大学电子系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

1993年3期

【关键词】

：

敏感元件酒敏材料 ZNO SNO2 FE2O3

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<正>为改善ZnO系、SnO2系和Fe2O系等酒敏材料的气敏选择性和稳定性,人们开始研制ABO3型酒敏材料,因为它们能表现出良好的稳定性和选择性.敏感元件厚膜化工艺简单,操作易于控制,元件性能一致性好;能促使器件向小型化和集成化发展;结构设计更加灵活,因之厚膜化具有重要意义.1 La1-xSrxCo（1-y）FeyO3厚膜的制造工艺更多还原

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