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采用射频磁控溅射法在T10碳素工具钢表面制备了氮化硼薄膜；研究了在基材和薄膜之间化学镀Ni-P中间层对薄膜结合力的影响；使用摩擦试验机对基材和镀膜后的试样进行了摩擦性能检测；通过划痕试验进行了结合强度试验。结果表明在工具钢表面溅射镀BN薄膜后摩擦因数明显降低，从原来的0．8下降到0．6，具有良好的减摩效果；BN薄膜和T10钢基材之间有一定的结合强度。加入Ni-P中间层以后膜基结合力有显著增加，能达到约30N；采用射频磁控溅射法制备得到的薄膜内部的应力为压应力，这有利于薄膜的附着和立方相氮化硼的形成。