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本文根据金属有机物化学气相沉积系统的原理和特点，建立了计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ系统。
计算机自动控制的热壁低压MOCVD系统的建立及其应用
【摘 要】
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本文根据金属有机物化学气相沉积系统的原理和特点，建立了计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ系统。
【机 构】
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西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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博士基金
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