【摘 要】
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纳米晶体管是尺寸小于100nm的晶体管.纳米晶体管大大提高了晶体管、集成电路、计算机以及其他电子器件的性能.Intel公司正在进行50 nm以下Si晶体管的研制,他们研制的THz CMOS
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纳米晶体管是尺寸小于100nm的晶体管.纳米晶体管大大提高了晶体管、集成电路、计算机以及其他电子器件的性能.Intel公司正在进行50 nm以下Si晶体管的研制,他们研制的THz CMOS平面晶体管克服了小尺度给纳米晶体管制作所带来的诸如栅极漏电流、关闭状态下的漏电流、电阻增加以及开通电压升高等一系列困难.目前,Si纳米晶体管的小型化并没有停止的趋势,除此以外,碳纳米管晶体管、Mott转变纳米晶体管以及有机纳米晶体管都在受到大力关注和正在研制之中.
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