【摘 要】
：
近年来,半导体集成电路技术发展迅速,半导体芯片在移动设备领域的应用越发广泛,相应对芯片在能耗和处理速度上的要求也越来越严格,从而催生出一系列半导体制造技术领域的重大
【机 构】
：
北方工业大学,中国科学院微电子研究所
论文部分内容阅读
近年来,半导体集成电路技术发展迅速,半导体芯片在移动设备领域的应用越发广泛,相应对芯片在能耗和处理速度上的要求也越来越严格,从而催生出一系列半导体制造技术领域的重大革新,在这其中,既包括器件结构的变革如平面器件向三维器件FinFet,Nano-Wire等立体结构的转换,也包括各工艺模块甚至单项工艺技术的革新,如今,以Finfet为代表的立体栅结构已成为22nm技术节点以下逻辑器件的行业主流,各工艺的优化也都围绕着这类器件的需求展开。本文介绍了当前离子注入技术在纳米集成电路制造工艺中的关键应用及未来的发展方
其他文献
自 1979年北京国际机场航站楼壁画群落成至今的 2 0多年间 ,中国现代壁画艺术经历了从衰落走向复兴的变迁 ,伴随着经济和文化的深化改革而在自我调节中得到不断发展 ,成就显
电能是我国发展中的重要能源,对于21 世纪来说,人们对于电能的依赖性越来越大,它促进了信息社会的发展,但是从可持续发展的角度来考虑,传统的燃力发电已经有了一定的限制,人
目的：探讨血管紧张素转换酶抑制剂（ACEI）卡托普利对2型糖尿病早期肾病的临床疗效及对肾功能的影响。方法：选择2型糖尿病合并早期肾病患者65例,随机分为治疗组34例和对照组31例,均
基于水合肼诱导乙酰基脱保护生成亚胺香豆素的原理,设计合成了一种荧光增强型检测水合肼的探针。相对于其他测试物（Cl~-,ClO_4~-,AcO~-,CO_3~（2-）,H_2PO_4~-,K~＋,Mg~（2＋）,Ca~（2＋）,Fe~（2＋）,
目的:探讨生殖股神经在单侧隐睾鼠模型对侧睾丸损害中的作用机制.方法:建立单侧隐睾鼠模型(21 d龄),切断该侧生殖股神经,120 d后观察对侧睾丸的生精细胞凋亡及组织乳酸含量变
随着平均寿命的提高,前列腺增生症(BPH)的患者也相应增加,与此同时并发膀胱癌的患者亦随之增加约为7%[1],除表浅移行上皮癌行肿瘤电切同时作经尿道前列腺电切术(TURP)外,如肿
目的:检测转化生长因子β1(TGF-β1)和α-平滑肌肌动蛋白(α-SMA)在肾积水肾盂肌层的表达,以探讨TGF-β1对积水肾脏的保护作用.方法:应用免疫组织化学方法对30例积水肾盂和5
随着社会经济的不断发展和城市化进程的逐步推进,国土空间规划体系不但受社会大众的关注,同时也被政府纳入了议事日程。特别我们国家在发展上谋求自然环境与经济发展相统一的
体育教育专业大学生教师职业认同、职业探索、学习投入是相互作用的,本研究在借鉴国内外研究的基础之上,通过问卷调查法,对体育教育专业大学生的现状进行调查。本研究是两项