半导体器件失效分析

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<正> 一、可靠性设计的重要性 半导体器件的失效原因来自于设计缺陷、工艺缺陷和使用不当。设计是可靠性的基础,良好的设计是保证可靠性的前提。器件的可靠性是在设计阶段形成的。它可能达到的可靠性极限等级取决于所选择的工艺方案、版图和结构结等方面的设计水平。设计不良等于“先天不足”,即使有最好的工艺、最严格的工艺控制和筛选都难以获得高可靠性。设计缺陷对器件的危险是带有批次性的,
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