半导体器件失效分析

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<正> 第三讲 失效分析技术 失效分析技术是收集失效证据,进一步展现失效特征,鉴别失效模式和研究失效机理的有力手段。在失效分析中恰当选择、灵活运用这些技术是很重要的。它分为常规分析技术和理化分析技术。 一、常规分析技术 常规分析技术分为十种: 电分析技术。包括非功能测试和功能测
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