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本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
LIGA工艺探讨
【摘 要】
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本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022,长春130022,长春130022
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1993年6期
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