铍、硼离子注入锗单晶薄片及热退火处理实验研究

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六十年代,人们应用半导体锗材料,制成了锂补偿锗探测器,在核辐射能谱学中用于探测γ射线和重粒子,获得了很高的分辨能力.七、八十年代,光纤通信迅速发展.Ge-AP作为长波长光通信系统中的光探测器,受到了人们的重视.在日本等国,Ge-APD在长波长光纤通信系统中,已经实用化了.尽管锗器件受到材料限制,暗电流和噪声较大,但其技术指标完全能满足中、小型光通信系统的要求,而且它不用液相外延或汽相外延工艺,成本低,价格较便宜,这就使它具有和InGaAs/InP探测器相竞争的能力. Sixties, the use of semiconductor germanium material, made of lithium compensation germanium detector, used in nuclear radiation spectroscopy for detection of gamma rays and heavy particles, obtained a high resolution .Seven, eighties, optical fiber The rapid development of communication.Ge-AP as a long-wavelength optical communication system in the light detector, has been people’s attention in Japan and other countries, Ge-APD long-wavelength optical fiber communication system, has been put into practical use.Although the Germanium device by Material limitations, dark current and noise, but its technical indicators can fully meet the requirements of medium and small optical communication systems, and it does not use liquid phase epitaxy or vapor phase epitaxy process, low cost, cheaper, which makes it have The ability to compete with InGaAs / InP detectors.
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