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研究了氮化温度、氮化时间、氮气压力和流量等因素对钛氮反应的影响，确定了钛表面气体氮化的工艺参数，并对氮化覆层的相组成及各项性能进行了研究。
钛表面气体氮化的工艺研究
【摘 要】
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研究了氮化温度、氮化时间、氮气压力和流量等因素对钛氮反应的影响，确定了钛表面气体氮化的工艺参数，并对氮化覆层的相组成及各项性能进行了研究。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1998年4期
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