【摘 要】
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介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构，使用Agilent ADS软件对该开关进行了设计
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介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构，使用Agilent ADS软件对该开关进行了设计和优化，结果表明，相比传统电容式单桥开关，该开关隔离度性能得到了很大提高，利用表面微机械工艺，在高阻硅衬底上制备了开关样品，双桥开关的在片测试结果表明：驱动电压为19．5V，“开”态的插入损耗约1．6dB@19．6GHz，“关”态的隔离度约46．0dB@19．6GH。
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