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针对紫外光学显微镜实现线宽测量的需要,设计了一种能够提供精密位移的大行程二维纳米位移台.分别采用柔性铰链和压电陶瓷驱动器作为导向机构和驱动机构,采用内外层串联嵌套结构实现二维独立位移运动.对平台进行力学建模,分析并计算得到二维工作刚度及集中应力公式.根据分析所得理论公式确定纳米位移台参数并进行有限元仿真.建立机械模型,根据机械模型设计并搭建激光干涉位移测量系统进行实验验证.实验数据分析结果表明,实验结果与理论设计基本一致,二维纳米位移台的设计满足要求.