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采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出具有高结晶质量的ZnO：Mn薄膜,经N离子注入和退火处理,成功实现了ZnMnO：N薄膜的p型转变。
退火对ZnMnO：N薄膜p型转变的影响
【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出具有高结晶质量的ZnO：Mn薄膜,经N离子注入和退火处理,成功实现了ZnMnO：N薄膜的p型转变。
【机 构】
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宝鸡职业技术学院电子信息工程系
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2012年25期
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