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比较了快速热处理、传统热处理、快速与传统结合热处理镧钛本铅铁电薄膜的微观形貌、介电、铁电性能、I-V以及C-V特性。讨论了不同热处理工艺的特点。研究表明,快速与传统结合热处理薄膜具有产大的晶粒尺寸和较大的剩余极化强度,I-V特性偏欧姆定律,具有压敏电阻特性,C-V曲线具有较尖锐的非线性峰。