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本文叙述了在光栅光刻工艺的基础上,采用一些特殊的措施,刻制了任意条纹的圆分度光栅,带四倍频的圆分度光栅及带绝对零位的圆分度光栅.
获得特殊圆分度光栅的一种途径
【摘 要】
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本文叙述了在光栅光刻工艺的基础上,采用一些特殊的措施,刻制了任意条纹的圆分度光栅,带四倍频的圆分度光栅及带绝对零位的圆分度光栅.
【机 构】
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汉江精密机床研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1983年3期
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