毫微秒脉冲离子束注入与微合金球的形成

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一、引言 强流毫微秒脉冲离子束注入金属样品过程中,由于离子混合、骤热急冷以及瞬态冲击压力波的作用,使金属表面的形貌、微观结构和物理化学性能发生很大的变化。在此之前,我们已经观察到脉冲离子束注入金属时微晶和非晶结构的形成。考虑到强脉冲离子束在气体密度 I. INTRODUCTION In the process of injecting metal sample with strong current nanosecond pulse ion beam, the morphology, microstructure and physical and chemical properties of the metal surface occur greatly due to ion mixing, sudden hot and cold and transient impact pressure wave Variety. Prior to this, we have observed the formation of microcrystalline and amorphous structures upon pulsed ion beam implantation into the metal. Considering the strong pulsed ion beam at gas density
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