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<正> 我们可以期望先进的基片加工设备不断地快速更新,但是,由于基片加工设备的成本日益高涨而延长其使用期(现在购买一套设备大约需要2百万美元),这是其一;另一方面,基片加工设备技术的领先优势还需要继续改进和革新。在1993年,全世界的半导
九十年代基片加工技术展望
【摘 要】
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<正> 我们可以期望先进的基片加工设备不断地快速更新,但是,由于基片加工设备的成本日益高涨而延长其使用期(现在购买一套设备大约需要2百万美元),这是其一;另一方面,基片加
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年3期
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