复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fremar

【摘要】

：

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数，通过静电键合

【作者】

：

毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

复合量程微加速度计压阻式二阶系统阻尼 multi-ranged micro accelerometer piezoresistive second-o

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为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，需要在结构中合理设计阻尼．设计了一个复合量程压阻式微加速度计，为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数，通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层．根据Reynolds方程，可知当硅一玻璃静电键合间距d=2．25μm时，复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比．

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