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本文介绍了锁相放大技术在等离子腐蚀过程中的应用,详细的论述了锁相放大器的设计过程,并对锁相放大器的性能进行了测试,结果表明,应用锁相放大技术进行终点监测过程中的弱信号提取,有效而可靠,提高了监测的灵敏度.
锁相放大技术在等离子腐蚀监测过程中的应用
【摘 要】
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本文介绍了锁相放大技术在等离子腐蚀过程中的应用,详细的论述了锁相放大器的设计过程,并对锁相放大器的性能进行了测试,结果表明,应用锁相放大技术进行终点监测过程中的弱信
【机 构】
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长春光学精密机械学院电子与信息工程分院,吉林省教育学院职教部
【出 处】
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长春光学精密机械学院学报
【发表日期】
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2001年2期
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