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从电路噪声的角度分析了直流充放电法和交流激励法电容测量技术的性能,得出交流法在增加电路复杂度极小的条件下,可获得较高的电容分辨率.给出了采用交流法的电路设计.使用Σ/Δ模数转换器,在获得高精度的A/D转换结果的同时简化了低通滤波器的设计,并获得了可编程的动态性能.理论分析和实践证明,本设计满足了10-16F电容变化量检测的应用需求.