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用Kinetic Monte Carlo方法研究了薄膜生长初期的表面形貌,对激活能的计算采用了更加通用、准确的算法,模型考虑了原子吸附、迁移、脱附、蒸发原子返回基底,二体运动等多种机理,根据模型编写了相应的软件,利用计算机图形学的原理对薄膜的表面形态进行了三维立体成像,并通过模拟发现,在低温和高温时薄膜的早期成核和表面形貌完全不同,薄膜后续的生长与早期成核有很大的关系.微观机理主要受原子的热运动影响,温度决定扩散能力,入射率决定扩散时间.