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利用低能中性团簇束淀积技术（ＬＥＣＢＤ）首次制备了Ｓｅ团簇薄膜，发现其生长方式与传统的蒸发方法有明显的不同。原位电子束辐照观察到明显的晶化现象。
Se低能中性团簇束流淀积
【摘 要】
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利用低能中性团簇束淀积技术（ＬＥＣＢＤ）首次制备了Ｓｅ团簇薄膜，发现其生长方式与传统的蒸发方法有明显的不同。原位电子束辐照观察到明显的晶化现象。
【机 构】
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南京大学固体微结构国家重点实验室
【出 处】
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原子与分子物理学报
【发表日期】
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1998年S1期
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